为自动化晶圆操作定制解决方案
Bob体育下载链接APPSPM在自动化方面有丰富的经验。我们能够实现单片自动装卸站的设备。该工具可以集成在我们的设备中，也可以作为中转站单独出售，例如从篮子到加工载体。
我们有操作超薄晶圆，光掩模和其他组件的经验。轴技术可以根据步进、精度和行程变化。
我们也可以集成第三方系统，如晶圆搬运机器人，配合我们的机器PLC。
机器人
SPM定制的高品质密封塑料外壳可以保护机器人免受恶劣环境的影响。Bob体育下载链接APP这种设计创造了耐化学药品的机器人，可以在产生酸性烟雾和泄漏的加工罐附近操作。
我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求，为每个问题提出正确的解决方案。
所有工具都遵循安全CE规则实现。
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