全部/部分引线架放气工艺设备
Bob体育下载链接APPSPM可根据客户要求生产不同版本的引线框脱毛设备。
我们多年来一直生产半导体设备,积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。
泄气过程是通过以下步骤实现的:
₪引线帧加载(手动或自动)
₪化学部分(机器人转移或输送机取决于配置)
₪高压水射流段(单引线架输送)
₪干燥段
₪引线帧卸载(手动或自动)
我们可以提供全流程设备,包括一台独特机器中的所有步骤,或单独的步骤模块。
Bob体育下载链接APPSPM设备能够处理不同的引线帧格式,而不需要任何操作员转换。机器可根据引线架尺寸自动调整。
我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求,为每个问题提出正确的解决方案。
自动引线架装载站
Bob体育下载链接APPSPM可增加全自动上料站。几条自动化轴将完成单个引线架的装载,将其从转移篮中捕获,并沉积在SPM工艺载体或输送机上(取决于设备概念)。Bob体育下载链接APP该系统自动检测引线框尺寸并自动进行相应的调整。

化学模块
溶剂通常采用不锈钢材料,符合防火安全规定。酸碱,我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4882批准)。在这两种情况下,我们只使用高性能材料,确保没有化学污染或降解,安全和长设备寿命。
化学部分可以配置为2伺服电机轴机器人,用于转移包含所有引线框的篮子或像特殊输送机一样,在工艺和冲洗槽内逐个移动引线框。
化学部分可以配备几个选项:
- 超声波
- Megasonic
- 快速冲洗
- 溢出360°
- 上/Dw搅拌高度和频率可配置
- 温度控制:加热-冷却
- 溶液再循环与不同的泵和流量控制选项
- 溶液混合和搅拌
- 再灌装系统从cd或集成瓶/罐
- 氮气泡沫
- 控制大气
- 蒸汽冷凝
- 酸度计
- 集中监控
- 氧化还原计
- 电阻率计
- 自动覆盖
清洗,加工和干燥罐由SPM设计和实现,仅使用顶级性能材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP
高压水射流站
水射流模块由:
- 高压泵
- 引线架自动输送机(可根据引线架格式自动调整)
- 高压烧结金刚石喷嘴,分散压力H2ODI
自动输送机是该站的核心。Bob体育下载链接APPSPM不断改进系统的设计,以实现更好的引线框散热和可靠性。
干燥站
该站执行引线架的干燥。根据设备配置,此操作将每次进行一个引线架或处理整个批次,干燥所有满载叶架的工艺载体。烘干机的首选方法是使用专用的高性能风机产生的热风与集成加热器。
自动引线架卸载站
Bob体育下载链接APPSPM可增加全自动卸料站。几个自动化轴将完成单个引线架的卸载。该系统自动检测引线框尺寸并自动进行相应的调整。
所有SPBob体育下载链接APPM脱灰设备均采用PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
•配方管理b0b体育平台下载
•数据记录:实时和历史
P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
•主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。
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