自动单片金属发射设备
Bob体育下载链接APPSPM生产全自动金属发射设备根据客户需求。
晶片的大小可以从3“8”。一个自动机器人处理晶圆一个接一个加载到进程室(s)捕获载体。
完整的流程执行到一个室:
- 金属发射;
- 冲洗;
- 干燥和高速旋转。
金属发射箱

我们预计的金属发射舱是完全意识到在聚四氟乙烯和包括:
- 旋转高原与无刷伺服电动机(可调快速直到5000 rpm max),晶片保持真空;
- 自动覆盖电动执行机构;整合自动门打开和Megasonic传感器通道;
- “Megpie”Megasonic换能器在1兆赫频率;
- 两个轴可编程、电动机械手在家Megasonic传感器运动位置;H2ODI槽内循环不断溢出;
- H2ODI /其他解决方案喷嘴自动运动;可编程序的位置,速度和频率电轴;
- 升空溶液入口温度控制;解决方案来自于缓冲罐、泵;
- 高压泵金属残留的去除。
发射设备由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据采集:实时和历史
- 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具实现以下安全CE规则。我们可以建立我们的设备ATEX认证的情况下是必要的。
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