光掩膜清洗设备

“科罗拉多模式”

科罗拉多模型已经开发了上清洗。该工具能够处理的面具6“9”。

面具被加载到系统由于一个定制的载体与10槽,实现了SPM使用防静电材料符合委托人的需要。Bob体育下载链接APP

有隔板高效过滤器层流,确保高水平的清洁过程领域内。

一个自动机器人处理面具一个接一个加载到进程室(s)捕获载体。

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科罗拉多州的模型
选项

完整的执行过程分为4个坦克:

  • 柜1:处理罐与热化学解决方案
  • 柜2:冲洗H2ODI H2ODI RT和热
  • Tank3:处理罐与RT化学溶液,用RT和热H2ODI H2ODI洗净
  • 干燥和热氮气

过程坦克PVDF完全实现,包括:

  • 喷射电轴:移动喷杆向面具与可编程过程中速度和暂停。
  • 自动快门气压传动装置,以确保机器人面具装卸
  • 化学溶液混合并加热;解决方案来自缓冲罐,由泵。
  • 局部排气:自动排气控制
  • 可选:电阻率流失监测

根据过程需要过程坦克类型不同。

几个缓冲罐可以安装到系统中,可以配备:

  • 磁悬浮泵再循环和解决方案交付处理罐自动流量控制
  • PNE泵再循环和解决方案交付处理罐(低的价格解决方案与磁悬浮泵)
  • 流量计
  • 过滤
  • 化学混合用高精度流量计或平衡
  • 加热/冷却和温度传感器
  • 模拟水平传感器控制的准确体积的解决方案

缓冲罐的材料取决于化学和温度:

  • PVDF (90°C的解决方案)
  • 不锈钢316 l(溶剂)
  • 聚乙烯(室温)
  • 高温石英(解决方案)
  • 聚四氟乙烯
  • 海拉尔
  • PFA

根据客户需求过程序列可以被定义。过程坦克可能是“独立”与一个独特的油箱内的所有步骤或分离,与几个过程只坦克执行单一配方的步骤。

单一光掩膜清洗设备是由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据采集:实时和历史
  • 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具实现以下安全CE规则。我们可以建立我们的设备ATEX认证的情况下是必要的。

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