手动,半自动和自动
Bob体育下载链接APPSPM可根据客户要求生产不同型号的电镀湿台。
对于设备结构,我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也通过FM4910认证)。这些高性能材料保证不受化学污染或降解,安全,设备寿命长。
清洗,加工和干燥罐由SPM设计和实现,仅使用顶级性能材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP
湿式工作台可配置为操作单个或多个产品。Bob体育下载链接APPSPM实现自定义产品支架,为电解过程传输电流。
湿板凳选项
湿板凳选项:
- 废气自动管理;b0b体育平台下载
- 层流HEPA过滤器。
所有SPBob体育下载链接APPM电镀湿台均由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理;b0b体育平台下载
- 数据记录:实时和历史;
- P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维修;
- 主机SECS-GEM接口(可选)。
所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。

电镀湿工作台
选项
电镀湿凳槽可配备以下几种选择:
- 废液回收;
- 加工和冲洗槽;
- 干衣机。
电解工艺槽可配备:
- 360°溢出
- 溶液再循环和过滤泵
- 用于溶液温度控制的加热器/冷水机
- 温度传感器
- 电源由SPM软件控制Bob体育下载链接APP
- 钛阴极棒与持有人支持
- 镀钛阳极网
- 从cd自动填充/混合溶液
- 自动排水与溶液回收
- 溶液pH监测
- 水平传感器
- / DW风潮
Bob体育下载链接APPSPM专利“浮动工艺”
三年来,SPM也推出了一种新的Bob体育下载链接APP处理方式。
我们关注这个问题的最初想法是找到一种创新的方法来处理单片太阳能电池基板,而不是实际复杂而昂贵的机制,需要支架将电流转移到产品。
从这个目标开始,SPM工程师发现了一种新的工艺槽设计,该设Bob体育下载链接APP计基于将晶圆漂浮在化学溶液上的原理。
您也可以要求使用最后一种技术的工艺罐。
市场
半导体
硅片电镀设备。
研究中心/实验室
硅片电镀设备。