全自动太阳能电池酸/碱性纹理
Bob体育下载链接APP公司可根据客户要求生产不同版本的太阳能电池纹理湿工作台。
我们用机器人实现各种类型的工具,从手动罩到全自动湿工作台。
我们从事半导体设备生产多年,积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。
我们建议的湿板凳可以是:
₪手册
₪半自动
₪自动
我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们擅长在第一次会议上识别客户的需求,因此我们可以为每个问题提出正确的解决方案。
对于溶剂,我们通常采用符合防火安全规定的不锈钢材料。与酸碱,我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4910批准)。
在这两种情况下,我们只使用高性能材料,保证无化学污染或降解,安全和设备寿命长。
湿的长椅
漂洗,处理和干燥罐由SPM设计和实现,只使用顶级性能的材料和最新的施工技术。Bob体育下载链接APP
湿工作台可以配置为操作单或双载体。

湿长凳罐
选项
湿长凳罐可以配备几种选择:
- 平衡加载和卸载,以衡量纹理的效率
- 超声波
- Megasonic
- 快速倾倒冲洗
- 溢出360°
- 上下搅拌与可配置的高度和频率
- 温度控制:加热-冷却
- 溶液过滤
- 溶液再循环与不同的泵和流量控制选项
- 溶液混合和灌装
- 从光盘或集成瓶/罐的再灌装系统
- 氮气泡沫
- 控制大气
- 蒸汽冷凝
- 酸度计
- 集中监控
- 氧化还原计
- 电阻率计
- 自动覆盖
湿板凳选择
自动湿工作台具有很大的优势,因为它们在自动模式下完成所有过程(从装载到卸载);这意味着不需要操作员在场。
在生产率提高的情况下,或者当您需要非常严格的过程控制时,这些自动湿工作台是有用的,因为没有人类接触大大减少了污染并增加了可重复性。
最小的典型构成是:
- 负载站;
- 处理罐;
- 清洗槽;
- 干燥机;
- 卸载站。
客户可以个性化的增加几个工艺和冲洗槽。
Bob体育下载链接APPSPM实现了不同版本的自动湿工作台,如机器人位于后段,或位于前段。湿工作台设计可以是线性的或旋转的,以节省工具的长度。
机器人可以精确地从一个坦克转移到另一个保证:
多任务(多个载体同时装载在不同的坦克中)
操作者的安全
降低晶圆片的机械应力
低污染
将人为错误减少到最低限度
流程的可重复性
我们使用的机器人的外露部件在特定材料中适当屏蔽(根据所使用的化学品),以保证最大的兼容性,最小的溶液污染和设备的长寿命。
- 排气自动管理b0b体育平台下载
- 层流与HEPA过滤器
所有SPBob体育下载链接APPM湿工作台均由PLC控制,触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时的和历史的
- P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
- 主机sec - gem接口(可选)
所有工具均按照安全CE规则实现。如果需要,我们可以用ATEX认证来制造我们的设备。
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