“Ludovica模式”
“Ludovica模式”是一种革命性的和有趣的设备,将信誉任何洁净室,研发或生产。
Ludovica模型是喷雾处理设备。它可以配置在不同版本坦克模块开发。本设备是由聚四氟乙烯室,可以处理”双8英寸晶圆运营商。
伺服电动机规则内部转子的旋转,允许晶片高度的完美统一。周围的处理室,位于PFA喷嘴,分散化学过程阶段;H2ODI清洗阶段和热氮气干燥阶段。
整个模型包括各个部分的不同方法治疗湿硅片或其他产品。bob综合体育注册
所有进程将在圆柱形,执行水平室,具体必要洞入口的液体:H2ODI起初,然后化学,然后再次H2ODI。在流程结束:干燥阶段热N2 +离心旋转载体(s) 3000 rpm。

“Ludovica模式”
特性
最具创新性和革命性的特征是:
- 执行清理、腐蚀等流程到一个独特的过程,包括最后的干燥
- 模块与缓冲罐包含专用的解决方案(在室温下,在中等温度下或在高温下)。化学类型学可以扩展根据客户的要求
- 自动解决方案通过在线计量混合系统,连接到一个cd
- 在加工过程室完全实现块伪造的聚四氟乙烯,在圆柱的版本。高厚墙:20 - 40毫米。室没有内部的过程。8导管孔均匀分布的流体
- 流程可以是在喷雾版本中,或者在浸版本中,或在混合动力版(喷雾第一阶段、第二阶段溢出和再循环的解决方案)
- 可能使用一次性的新的解决方案,或恢复他们(根据过程阶段和/或客户的需求)
- 操作条件总是密切环境,刚刚发泄连接到排气系统
- 每个流程周期可以包含2 8运营商25晶片
Ludovica模型湿过程保证的结果,因为他们的技术和可重复性的每个流程步骤;此外,无论是运营商还是环境会影响最终的处理结果。事实上,所有进程将执行到相同的水平。
工程将定义:
- 流程周期(时间、流量、压力、化学混合物,溶液温度,…);
- 流程类型(喷淋或浸泡,溢出液体再循环)的可能性。解决方案可以新鲜或循环。
Ludovica模型的另一个优点是几乎完全废除筋疲力尽的烟雾所产生过程,利用开坦克,或局部排气。
一个定制的方法
我们意识到每个系统是根据客户的要求量身定做。我们确定专家第一次会议,客户的必需品,所以我们可以为每个问题提出正确的解决方案。
溶剂,我们通常采用不锈钢材料,符合安全规定的防火保护。Acids-Bases我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4882批准)。在这两种情况下我们使用高性能材料,保证没有化学污染或恶化,安全,设备寿命长。
Ludovica模型可以配置为单引号或双载波进行操作。晶片的大小可以从3“8”。
Ludovica模型是由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP
- 配方管理;b0b体育平台下载
- 数据采集:实时和历史;
- 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护;
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具实现以下安全CE规则。我们可以建立我们的设备ATEX认证的情况下是必要的。
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