“Ludovica模式”

“Ludovica模型”是一种革命性和有趣的设备,将为任何洁净室带来声誉,无论是研发还是生产。

Ludovica型是一种喷雾加工设备。它可以配置在不同版本的坦克,以实现模块化开发。该设备由一个聚四氟乙烯室组成,可以处理多达两个8英寸的晶圆载体。

伺服马达控制内部转子的旋转,使晶圆贴合完美均匀。在工艺室的周围,有PFA喷嘴,用于扩散工艺阶段的化学品;清洗阶段为H2ODI,干燥阶段为HOT N2。

整个模型包括用于硅片或其他产品的不同湿处理方法的各个部件。bob综合体育注册

所有的过程都将在一个圆柱形的水平腔内进行,该腔内有专门的孔用于必要的液体入口:首先是H2ODI,然后是化学液体,然后是H2ODI。在工艺结束:干燥阶段与热N2 +离心载体(s)旋转到3000 rpm。

Ludovica模型。喷涂加工设备。" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB.jpg 794w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB-298x300.jpg 298w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB-768x774.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB-630x635.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB-420x423.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB-315x317.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/09/IMG_7952_MODB-100x100.jpg 100w">

“Ludovica模式”
特性

最具创新性和革命性的特点是:

  • 将清洗、蚀刻等工序执行到一个独特的工艺室中,包括最后的干燥
  • 带有缓冲槽的模块,内含专用溶液(室温、中温或高温)。化学类型可根据客户要求扩展
  • 通过连接到CDS的在线给药系统自动混合溶液
  • 加工室完全实现在机械块锻造聚四氟乙烯,在圆柱形版本。高壁厚:20 - 40毫米。在工艺室内部没有。8个带孔的歧管,使流体均匀分布
  • 工艺流程可以是喷雾版、浸没版或混合版(第一阶段喷雾,第二阶段溶液溢出和再循环)
  • 使用一次性新鲜解决方案的可能性,或回收它们(根据工艺阶段和/或客户要求)
  • 操作条件总是在封闭的环境中,只有通风口连接到排气系统
  • 每个工艺周期可以包含多达2个8英寸的载体,每个载体有25片晶圆

Ludovica模型湿工艺由于其技术和每个工艺步骤的可重复性而保证了良好的效果;此外,无论是操作者还是环境都不能影响最终的工艺结果。事实上,所有的工艺都将在同一个水平腔内进行。

工程将定义:

  • 工艺周期(持续时间,流量,压力,化学混合物,溶液温度,…);
  • 工艺类型(喷雾或浸没,可能有溢流流体再循环)。溶液可以是新鲜的或再循环的。

Ludovica模型的另一个优点是几乎完全消除了在使用开放式罐或局部排气过程中产生的废气。

量身定制的方法

我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求,为每个问题提出正确的解决方案。

溶剂通常采用不锈钢材料,符合防火安全规定。酸碱,我们使用特定的耐腐蚀塑料材料(也FM4882批准)。在这两种情况下,我们只使用高性能材料,确保没有化学污染或降解,安全和长设备寿命。

Ludovica型号可配置为单载波或双载波。晶圆尺寸可以从3”到8”。

Ludovica Model采用PLC和触摸屏控制,实现对整个系统的管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理;b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史;
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维修;
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。

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