自动剥离设备
Bob体育下载链接APPSPM生产晶片剥离设备根据客户需求。
晶片的大小可以从3“8”。一个自动机器人处理晶片从加载到剔骨。
脱胶过程执行的加热片+支持(通常是另一个晶片或蓝宝石盘)。
脱胶车站设计有两个加热板与真空chuckThere电子/ DW轴移动顶部加热板根据晶圆厚度+“胶水”+支持。一个水平轴热板远离顶板底部。
晶圆德波流程步骤
- 晶片+“胶水”+支持加载在底板上;
- 真空活化底板- >晶片安全地举行;
- 顶板向下移动支持根据配方厚度(转矩控制也可以);
- 真空活化在顶板- >安全地举行的支持;
- 顶部和底部的加热板与红外加热器;
- 温度达到设定值后,电动轴移动晶片,横向滑动;
- 机器人有晶片扣人心弦的冷却站在一边,并派;
- 释放在特殊容器的支持;
- 机器人捕获的支持和把它放在冷却站;
- 一旦温度的支持和从机器人晶片是正确的- >卸载;
- 化学过程的晶片和支持删除“胶水”残余(这个过程可以在一个单独的设备或集成)。

剥离设备由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据采集:实时和历史
- 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具实现以下安全CE规则。我们可以建立我们的设备ATEX认证的情况下是必要的。
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