废晶圆销毁系统

虎鲨是一个自动销毁晶圆的系统。它专门用于未通过最终测试(闪存技术)的晶圆。

该设备使用化学品破坏晶圆，也可用于使用特定溶液破坏面罩。

本系统为自动版，可容纳25片单载，8寸-12寸。在工艺槽内，经过化学处理后，将有一个漂洗阶段。bob综合体育注册蚀刻液被回收并储存在下面的另一个槽中，以备再次使用。

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浪费晶片
选项

废晶圆销毁设备采用PLC控制和触摸屏控制，对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时的和历史的
  • P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
  • 主机sec - gem接口(可选)

所有工具均按照安全CE规则实现。

市场

半导体

自动废晶圆销毁设备

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