废晶片销毁系统
虎鲨是一个自动摧毁晶圆的系统。它专门用于没有通过最终测试的晶圆(闪存技术)。
该设备使用化学物质破坏晶圆,也可用于口罩破坏,使用特定的解决方案。
该系统是自动版本,为25晶圆单载体,8“-12”。在工艺槽内,经过化学处理后,会有一个漂洗阶段。bob综合体育注册蚀刻液被回收并储存到另一个罐,下面,以供重复使用。

浪费晶片
选项
废晶片销毁设备由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时和历史
- P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具都遵循安全CE规则实现。
市场
半导体
自动废晶片销毁设备