设备石英部件清洗解决方案

Bob体育下载链接APPSPM制造用于清洗从LPE 3061, LPE2061和ASM机器等工艺设备中拆卸的石英部件的专用设备。

这些设备,可以清洗所有的石英零件,在维护操作中需要清洗。为了清洗同一设备中的小零件,我们设计了专用的零件篮,装在专门的清洗槽内。

我们多年来一直生产半导体设备,积累了丰富的经验。这使我们能够完善我们的技术和工具。

清洗过程是通过对石英部件进行化学攻击来实现的。

这机器是全自动的;在装载待清洗部件后,系统将从混合罐内的纯化学品开始制备溶液。不同的工艺和冲洗步骤依次执行,最后,干燥器阶段开始使用热H2ODI,然后是热N2,两者都由专用加热器直接产生。

化学填

化学灌装可以从cd或瓶站根据客户的要求。

我们实现的每一个系统都是根据客户的要求量身定制的。我们在第一次会议上就能识别客户的需求,为每个问题提出正确的解决方案。

Sunnyvale型号:LPE 3061和ASM零件清洗站。" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-1024x683.jpg 1024w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-300x200.jpg 300w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-768x512.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-630x420.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-420x280.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-840x560.jpg 840w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD-315x210.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_6827_MOD.jpg 1200w">

石英清洁
选项

该系统的配置可以根据您需要清洗的石英部件而有所不同。以下是我们的设备清单:

  • 雅典模型:lpe2061石英钟罩清洗系统
  • 开罗模型:lpe3061石英室和工艺套件清洗系统
  • 马尼拉模型:lpe3061石英室和lpe2061石英钟罩和工艺套件清洗系统
  • 摩纳哥模型:Asm石英室和工艺套件清洗系统
  • 漂亮的模型:lpe2061石英钟罩,asm室
和工艺套件清洗系统
  • 比雷埃夫斯模型:lpe2061或amc7810 -7820石英钟罩和工艺套件清洗系统
  • 阿格里真托模型:箱体lpe3061,小部件,钟罩和石英管清洗系统
  • 森尼维耳市模型:lpe3061, asm石英室和工艺套件清洗系统

所有SPBob体育下载链接APPM设备均由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。

软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具都遵循安全CE规则实现。

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半导体

EPI石英部件清洗系统

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