单机干燥设备
可以采用不同的技术来达到干燥的目的。溶液根据产品尺寸、颗粒、干燥速度、单片或载体负载而有所不同。
Bob体育下载链接APPSPM独立烘干机可订购单片或批量操作，使用载体。
SPM可以提供的技术有:Bob体育下载链接APP
- 热N2干燥
- 自旋干燥机
- 酒精半月板
最简单的方法是使用专用加热器内联产生的热N2。罐体材料为SS316L，可选覆盖聚四氟乙烯，以最大限度地减少颗粒沉积在罐壁。
旋转干燥机也可以包括冲洗周期。槽可设计为单片使用或批量使用。在这种情况下，一个电动马达旋转到4000转每分钟，旋转走水颗粒。
酒精半月板干燥机用于极端限制颗粒要求的情况。特殊的容器保证了冲洗晶片的可能性，然后在顶部输入IPA。液体的排出或晶圆的上升会在晶圆表面形成酒精半月板，使表面干燥成为可能。还注入热N2以帮助干燥过程。
烘干机设备
烘干机设备由PLC和触摸屏控制，对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时和历史
- P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具都遵循安全CE规则实现。
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