独立干燥设备
可以采用不同的工艺来达到干燥的目的。溶液根据产品尺寸，颗粒，干燥速度，单片或载体负载而变化。
Bob体育下载链接APPSPM独立烘干机可以单片或批量操作，使用载体。
SPM可以提供的技术有:Bob体育下载链接APP
- 热氮气干燥
- 自旋干燥机
- 酒精半月板
最简单的方法是使用专用加热器内联产生的HOT N2。储罐材料为SS316L，可选覆盖PTFE，以减少颗粒沉积在储罐壁上。
旋转干燥机也可以包括冲洗循环。罐体可设计为单片或批量使用。在这种情况下，电动马达旋转高达4000转/分钟，以旋转除去水颗粒。
酒精半月板干燥机用于颗粒要求极为严格的情况。特殊的水箱保证可以冲洗硅片，然后在顶部进口IPA。液体的排出或晶圆的上升会在晶圆表面形成一个半月板状的酒精，使表面干燥成为可能。还注入热氮气以帮助干燥过程。
烘干机设备
烘干机设备采用PLC控制，触摸屏控制整个系统。软件由SPM工程师开发，具有现代图形和广泛的功能，Bob体育下载链接APP如:
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据记录:实时的和历史的
- P&I直接控制:直接对阀门和泵进行维护
- 主机sec - gem接口(可选)
所有工具均按照安全CE规则实现。
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