单机干燥设备

可以采用不同的技术来达到干燥的目的。溶液根据产品尺寸、颗粒、干燥速度、单片或载体负载而有所不同。

Bob体育下载链接APPSPM独立烘干机可订购单片或批量操作,使用载体。

SPM可以提供的技术有:Bob体育下载链接APP

  • 热N2干燥
  • 自旋干燥机
  • 酒精半月板

最简单的方法是使用专用加热器内联产生的热N2。罐体材料为SS316L,可选覆盖聚四氟乙烯,以最大限度地减少颗粒沉积在罐壁。

旋转干燥机也可以包括冲洗周期。槽可设计为单片使用或批量使用。在这种情况下,一个电动马达旋转到4000转每分钟,旋转走水颗粒。

酒精半月板干燥机用于极端限制颗粒要求的情况。特殊的容器保证了冲洗晶片的可能性,然后在顶部输入IPA。液体的排出或晶圆的上升会在晶圆表面形成酒精半月板,使表面干燥成为可能。还注入热N2以帮助干燥过程。

烘干机设备

烘干机设备由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具都遵循安全CE规则实现。

双6英寸载体的独立烘干机。HOT N2技术" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-683x1024.jpg 683w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-200x300.jpg 200w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-768x1152.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-630x945.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-420x630.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD-315x473.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_3937_MOD.jpg 800w">

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