手动、半自动和自动

Bob体育下载链接APPSPM生产全自动和半自动单一晶片设备根据客户需求。

晶片的大小可以从3“8”。一个自动机器人处理晶圆一个接一个地加载到进程室(s)捕获载体。

完整的流程执行到一个室:

  • 化学过程从几个缓冲罐;
  • 冲洗;
  • 晶片擦洗(可选);
  • Megasonic(可选);
  • 氮气泡沫(可选);
  • 干燥和高速旋转。

过程的坦克

全自动单一晶片表面处理设备。有能力处理晶片大小从3到6。5过程坦克和5缓冲罐。" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-1024x683.jpg 1024w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-300x200.jpg 300w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-768x512.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-630x420.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-420x280.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-840x560.jpg 840w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-315x210.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD.jpg 1200w">

流程坦克完全意识到在聚四氟乙烯导电聚四氟乙烯(可选),包括:

  • 旋转卡盘与无刷伺服电动机(可调快速直到3000 rpm max),晶片保持真空;
  • / DW电轴:从液体式装卸的晶片室和距离设置;
  • 自动覆盖电动执行机构;
  • 化学溶液混合,加热:解决方案来自于缓冲罐、泵;
  • N2气氛:进口的N2过程;
  • 局部排气控制:自动排气控制;
  • 与解决方案恢复到360°溢出缓冲罐;
  • 可选-晶片擦洗:输入输出电轴为晶片与旋转电机和高性能的海绵擦洗擦洗;
  • 可选- megasonic:megasonic数组在罐底清洗过程;
  • 可选- N2泡沫:N2进气处理罐内部解决方案;
  • 可选-氧浓度监测;
  • 可选——pH值流失监测;
  • 可选-氧化还原排水监控;
  • 可选-电阻率流失监测。

根据过程需要过程坦克类型不同。Bob体育下载链接APPSPM最新技术被称为“流动效应”(专利)。

Bob体育下载链接APPSPM专利
“漂浮的过程”

3年以来,SPM发射处理的新方Bob体育下载链接APP法。
最初的想法,我们关注的问题是找到一个创新的方法来处理单一晶片。
从客观SPM工程师发现处理罐的新设计原则的基础上浮动的晶圆Bob体育下载链接APP化学解决方案。

几个缓冲罐可以安装到系统中,可以配备:

  • 磁悬浮泵再循环和解决方案交付处理罐自动流量控制
  • 流量计
  • 过滤
  • 化学混合用高精度流量计或平衡
  • 加热/冷却和温度传感器
  • 模拟水平传感器控制的准确体积的解决方案

缓冲罐的材料取决于化学和温度:

  • PVDF (90°C的解决方案)
  • 不锈钢316 l(溶剂)
  • 聚乙烯(室温)
  • 高温石英(解决方案)
  • 聚四氟乙烯
  • 海拉尔
  • PFA

根据客户需求过程序列可以被定义。过程坦克可能是“独立”与一个独特的油箱内的所有步骤或分离,与几个过程只坦克执行单一配方的步骤。在这种情况下,将从一个处理罐转移到另一个可以执行没有空气接触特别“浮动效应”透明的幻灯片。

单一晶片加工设备是由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP

  • 配方管理;b0b体育平台下载
  • 数据采集:实时和历史;
  • 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护;
  • 主机SECS-GEM接口(可选)。

所有工具实现以下安全CE规则。我们可以建立我们的设备ATEX认证的情况下是必要的。

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