手动,半自动和自动

Bob体育下载链接APPSPM可根据客户需求生产全自动和半自动单片设备。

晶圆尺寸可以从3英寸到8英寸。一个自动机器人处理晶圆一个接一个地装入工艺室,从载体上捕获它们。

整个过程在一个腔室中执行:

  • 几个缓冲罐的化学过程;
  • 冲洗;
  • 硅片擦洗(可选);
  • Megasonic(可选);
  • N2气泡(可选);
  • 用高速旋转器干燥。

过程的坦克

全自动单片表面制备设备。能够处理晶圆尺寸从3到6英寸。5个工艺罐和5个缓冲罐。" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-1024x683.jpg 1024w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-300x200.jpg 300w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-768x512.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-630x420.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-420x280.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-840x560.jpg 840w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD-315x210.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_1803_MOD.jpg 1200w">

工艺罐完全采用聚四氟乙烯(可选导电聚四氟乙烯),包括:

  • 带旋转卡盘无刷伺服电动机(速度可调至3000转/分最高),真空保存晶片;
  • 上/DW电轴:从腔室装载和卸载晶圆以及与液体装置的距离;
  • 自动覆盖带电动执行机构;
  • 化学溶液搅拌加热:溶液来自缓冲槽,经泵;
  • N2气氛:过程中N2进气;
  • 局部控制排气:自动排气控制;
  • 360°溢流,溶液回收到缓冲槽;
  • 可选-硅片擦洗:进-出电动轴,旋转电机,高性能擦洗海绵;
  • 可选- megasonic:罐底巨声波阵列,用于清洗过程;
  • 可选- N2气泡:工艺槽内N2入口溶液;
  • 选配-氧浓度监测;
  • 可选- pH排放监测;
  • 可选-氧化还原排水监测;
  • 可选电阻率排水监测。

工艺罐类型根据工艺需要而变化。Bob体育下载链接APPSPM最新技术称为“漂浮效应”(已获专利)。

Bob体育下载链接APPSPM专利
“漂浮的过程”

三年来,SPM也推出了一种新的Bob体育下载链接APP处理方式。
我们关注这个问题的最初想法是找到一种创新的方法来加工单片晶圆。
从这个目标开始,SPM工程师发现了一种新的工艺槽设计,该设Bob体育下载链接APP计基于将晶圆漂浮在化学溶液上的原理。

若干缓冲罐可安装到系统中,并可配备:

  • 磁悬浮泵用于再循环和溶液输送到工艺罐,具有自动流量控制
  • 流量计
  • 过滤
  • 化学混合配高精度流量计或天平
  • 带温度传感器的加热器/冷水机
  • 模拟液位传感器,用于控制溶液的确切体积

缓冲罐的材料因化学品和温度的不同而不同:

  • PVDF(高达90°C溶液)
  • 不锈钢316L(用于溶剂)
  • PE(室温)
  • 石英(高温溶液)
  • 聚四氟乙烯
  • 海拉尔
  • PFA

工艺顺序可根据客户需要确定。处理槽可以是“独立的”,所有步骤都在一个惟一的槽中,也可以是分离的,由几个处理槽仅执行单个配方步骤。在这种情况下,可以使用特殊的“漂浮效果”液体载玻片在没有空气接触的情况下从一个工艺罐转移到另一个工艺罐。

单片加工设备由PLC和触摸屏控制,对整个系统进行管理。软件由SPM工程师开发,具有现代图形和广泛的功能,Bob体育下载链接APP如:

  • 配方管理;b0b体育平台下载
  • 数据记录:实时和历史;
  • P&I直接控制:直接作用于阀门和泵进行维修;
  • 主机SECS-GEM接口(可选)。

所有工具都遵循安全CE规则实现。我们可以用ATEX认证来建造我们的设备,以防需要。

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