设备清洗石英部分的解决方案

Bob体育下载链接APPSPM制造专用设备清洗石英部分拆除石英管等工艺设备,船,热电偶盾牌等。

这些设备,可以清洁所有石英部分需要清洗维护操作。清洁小部件在同一设备,我们设计了专门的专用水箱清洗。

我们多年来一直生产半导体设备和有一个伟大的经验。这使得我们perfectionate技术和工具。

清洗过程是通过使用化学攻击石英部分。

这台机器完全自动;加载部分被清洁后,该系统将准备的解决方案从纯化学物质混合槽内。不同的流程顺序和冲洗步骤执行子最后干燥阶段开始使用热H2ODI然后热N2,直接由专用加热器。

化学填

我们意识到每个系统是根据客户的要求量身定做。我们确定专家第一次会议,客户的必需品,所以我们可以为每个问题提出正确的解决方案。

系统的配置可以随石英部分你需要清洁和洁净室空间。清洗可以垂直或水平的过程。

SPM设Bob体育下载链接APP备都是由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP

  • 配方管理b0b体育平台下载
  • 数据采集:实时和历史
  • 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护
  • 主机SECS-GEM接口(可选)

所有工具实现以下安全CE规则。

垂直石英管自动清洗系统" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD-683x1024.jpg 683w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD-200x300.jpg 200w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD-768x1152.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD-630x945.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD-420x630.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD-315x473.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/06/IMG_4881_MOD.jpg 800w">

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