设备清洗石英部分的解决方案
Bob体育下载链接APPSPM制造专用设备清洗石英部分拆除石英管等工艺设备,船,热电偶盾牌等。
这些设备,可以清洁所有石英部分需要清洗维护操作。清洁小部件在同一设备,我们设计了专门的专用水箱清洗。
我们多年来一直生产半导体设备和有一个伟大的经验。这使得我们perfectionate技术和工具。
清洗过程是通过使用化学攻击石英部分。
这台机器完全自动;加载部分被清洁后,该系统将准备的解决方案从纯化学物质混合槽内。不同的流程顺序和冲洗步骤执行子最后干燥阶段开始使用热H2ODI然后热N2,直接由专用加热器。
化学填
我们意识到每个系统是根据客户的要求量身定做。我们确定专家第一次会议,客户的必需品,所以我们可以为每个问题提出正确的解决方案。
系统的配置可以随石英部分你需要清洁和洁净室空间。清洗可以垂直或水平的过程。
SPM设Bob体育下载链接APP备都是由PLC和触摸屏来管理整个系统。由SPM软件开发工程师与现代图形和广泛的功能,如:Bob体育下载链接APP
- 配方管理b0b体育平台下载
- 数据采集:实时和历史
- 赔直接控制:直接作用在阀门和泵进行维护
- 主机SECS-GEM接口(可选)
所有工具实现以下安全CE规则。

市场
半导体
Oxidation-doping石英部分清洗系统
光伏
Oxidation-doping石英/石墨部件清洗系统