自动湿长椅
全自动湿式工作台具有很大的优势,因为它在自动模式下完成所有过程(从载体装载到载体卸载);这意味着不需要操作员的存在。
这些自动湿工作台在提高生产率的情况下是有用的,或者当你需要非常严格的过程控制时,因为没有人的接触大大减少了污染,增加了可重复性。
湿板凳构图
最小典型组合为:
- 负载站;
- 处理罐;
- 清洗槽;
- 干燥机;
- 卸载站。
客户可根据客户需求,增加多个工艺和冲洗槽。

Bob体育下载链接APPSPM实现了不同版本的自动湿长椅,例如机器人位于后面部分或前面的湿长椅。湿式工作台可采用线性或旋转式设计,节省刀具长度。
机器人允许精确的载体转移从一个坦克到另一个保证:
- 多任务处理(多个载具同时装载在不同的坦克中)
- 操作人员安全
- 降低晶圆机械应力
- 低污染
- 人为错误减少到最低限度
- 工艺的可重复性
我们使用的机器人的外露部件都用特定的材料(根据所使用的化学品)进行适当的屏蔽,以保证最大的兼容性,最小的溶液污染和设备的长寿命。
市场
半导体
晶圆片/掩模加工及清洗,设备零件清洗
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