自动湿长椅

全自动湿式工作台具有很大的优势,因为它在自动模式下完成所有过程(从载体装载到载体卸载);这意味着不需要操作员的存在。

这些自动湿工作台在提高生产率的情况下是有用的,或者当你需要非常严格的过程控制时,因为没有人的接触大大减少了污染,增加了可重复性。

湿板凳构图

最小典型组合为:

  • 负载站;
  • 处理罐;
  • 清洗槽;
  • 干燥机;
  • 卸载站。

客户可根据客户需求,增加多个工艺和冲洗槽。

全自动湿式制酸工作台。(装载站,1个工艺槽,1个H2ODI热冲洗槽,热N2干燥机,卸载站)" data-srcset="//www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-1024x683.jpg 1024w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-300x200.jpg 300w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-768x512.jpg 768w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-630x420.jpg 630w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-420x280.jpg 420w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-840x560.jpg 840w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071-315x210.jpg 315w, //www.admerse.com/wp-content/uploads/2018/07/IMG_6357_MOD50071.jpg 1200w">

Bob体育下载链接APPSPM实现了不同版本的自动湿长椅,例如机器人位于后面部分或前面的湿长椅。湿式工作台可采用线性或旋转式设计,节省刀具长度。

机器人允许精确的载体转移从一个坦克到另一个保证:

  • 多任务处理(多个载具同时装载在不同的坦克中)
  • 操作人员安全
  • 降低晶圆机械应力
  • 低污染
  • 人为错误减少到最低限度
  • 工艺的可重复性

我们使用的机器人的外露部件都用特定的材料(根据所使用的化学品)进行适当的屏蔽,以保证最大的兼容性,最小的溶液污染和设备的长寿命。

市场

半导体

晶圆片/掩模加工及清洗,设备零件清洗

光伏

Iso纹理,单元格回收

研究中心/实验室

化学实验室通风罩

溶剂

旋转木马的版本